Microelectronics renrom er et spesielt produksjonsmiljø for å sikre produktkvalitet og effektivitet i mikroelektronikkindustrien. For dette prosjektet er det mange faktorer som vurderes som luftrensing, temperatur, fuktighet, elektrostatisk og støykontroll og så videre.
Ulike klasser av mikroelektronikk-renromsapplikasjonsindustrier:
1.Integrert krets produksjon
- ISO 1 - 3: brukes ofte i den mest avanserte prosessen med fotoetsing, etsing og andre, som krever ekstremt høy kontroll av bittesmå partikler, og en liten forurensning kan føre til chipdefekter.
- ISO 4 - 5: Egnet for tynnfilmavsetning, ioneimplantasjon og andre prosesser i brikkeproduksjon, og har også strenge krav til partikkelkontroll.
2.Halvlederinnkapslingstest
- ISO 6 - 7: Den kan oppfylle kravene til de fleste emballasjetestlenker, for eksempel brikkepakking, funksjonstest osv.
3. Produksjon av panelskjermer
- ISO 5 - 6: Brukes i belegg og eksponering av LCD-panelproduksjon.
4. Produksjon av elektroniske komponenter
- ISO 7 - 8: brukes til produksjon av elektroniske komponenter med relativt lave miljøkrav, som motstander, kondensatorer osv.
Kort sagt, jo høyere klasse renrommet er, jo mindre antall suspenderte partikler i luften som kan kontrolleres, jo renere miljø, og jo mer egnet for mikroelektroniske produksjonsprosesser som krever ekstremt strenge produksjonsmiljøer. Imidlertid er renrommet av lavere klasse egnet for produksjonsprosesser som krever relativt løst miljø.
Hovedenheter i luftrensesystemet til mikroelektronikk-renrom:
1. Luftfilter
- Primært effektivitetsfilter: brukes hovedsakelig til å filtrere større partikler, som støv, hår, etc., for å spille en foreløpig rolle i å rense luften.
- Middels effektive filtre: filtrerer mellomstore partikkelformige forurensninger og forbedrer luftrenslighet ytterligere.
- HEPA-filter: nøkkelenheten for å oppnå høy renslighet med høy filtreringseffektivitet for partikler over 0,3 mikron
- Ultrahøyeffektivt filter (ULPA-filter): for 0.1 - 0.3 mikron partikler kan filtreringseffektiviteten være over 99,999 %, og det brukes ofte på steder med ekstremt høye krav til renslighet.
2. Vifte
- Ansvarlig for å drive luftstrømmen, få luften til å passere gjennom filteret og sirkulere i renrommet.
3. Kanal
- brukes til å transportere filtrert luft for å sikre jevn fordeling av luft til alle områder av renrommet.
4. Friskluftbehandlingsaggregat
- introduser frisk luft utenfor, filtrer den og juster temperatur og fuktighet for å møte behovene til renrommet.
5. Luftrenseenhet
-integrer en rekke rense- og kondisjoneringsfunksjoner, som filtrering, sterilisering, avfukting, fukting og så videre.
6. Statisk trykkkammer
-stabilisere luftstrømmen, redusere turbulens og støy fra luftstrømmen, og sikrer jevn luftstrøm gjennom filtre.
7. Lyddemper
- Reduser støy som genereres av vifter og luftstrøm, og gir et stille arbeidsmiljø
8. Differensialtrykksensorer og kontrollere
- Overvåk trykkforskjellen mellom ulike områder av renrommet for å sikre at luften strømmer i en forhåndsbestemt retning for å forhindre krysskontaminering av forurensninger.
Disse enhetene jobber sammen for å sikre at luftkvaliteten i det mikroelektroniske renrommet når den nødvendige renhetsklassen.
Nøkkeltrinn og tekniske punkter i mikroelektronisk renromsteknikk:
1. Designplanlegging: i henhold til produksjonsprosessen og kravene, bestemme renromsklassen, området, layouten, etc. På samme tid, strømningsveien til personell, materialer og utstyr, samt design av luftrensing, klimaanlegg og belysningssystemer bør vurderes.
2.Bygningsstruktur: den skal ha god tetnings- og termisk isolasjonsytelse for å redusere påvirkningen av det ytre miljøet på interiøret. Samtidig er det nødvendig å bruke materialer som ikke er lette å generere støv og statisk elektrisitet, som rustfritt stål og aluminiumslegering.
3. Luftrensingssystem: det er en kjernedel av mikroelektronikk renromsteknikk. Vanligvis brukes høyeffektive filtre, vifter, luftkanaler og andre enheter for å fjerne støv, bakterier, virus og andre forurensninger i inneluften, slik at luften når et visst renhetsnivå.
4. Klimaanlegg: det må kunne kontrollere innendørs temperatur, fuktighet og trykkforskjell for å oppfylle kravene til produksjonsprosessen. Samtidig bør energibesparende og miljøvennlig klimaanlegg og teknologi tas i bruk for å redusere driftskostnadene.
5. Elektrostatisk kontroll: Produksjonsprosessen for mikroelektronikk er tilbøyelig til å generere statisk elektrisitet som vil påvirke produktkvaliteten. Derfor er det nødvendig å ta statiske elimineringstiltak, for eksempel bruk av statiske eliminatorer, legging av antistatiske gulv, etc.
6. Støykontroll: Støy vil påvirke arbeidseffektiviteten og helsen til personell, så støykontrolltiltak må tas, som bruk av lydisolasjonsmaterialer, montering av lyddempere, etc.
7. Lyssystem: det skal kunne gi tilstrekkelig lysstyrke og ensartethet for å møte kravene til produksjonsprosessen. Samtidig bør energibesparende og miljøvennlig lysutstyr og teknologier tas i bruk for å redusere driftskostnadene.
8. Personal- og materialstyring: inn- og utreise av personell og materialer skal styres og kontrolleres strengt for å redusere innføringen av eksterne forurensninger. Samtidig bør personell opplæres til å forbedre renslighetsbevissthet og operative ferdigheter.
9. Test og verifikasjon: etter at renrommet er bygget, bør det utføres test og verifikasjon for å sikre at ytelsen til renrommet oppfyller designkravene, som inkluderer luftrenslighet, temperatur, fuktighet, trykkforskjell, statisk elektrisitet, etc.
Avslutningsvis er mikroelektronisk renromsteknikk et komplekst system som krever flere faktorer. Bare ved å ta i bruk avansert teknologi og utstyr kan det bygges et renrom som oppfyller kravene.
Populære tags: mikroelektronikk renrom, Kina mikroelektronikk renrom leverandører, produsenter, fabrikk
